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    场发射扫描电子显微镜

    作者: 发布时间:2017-05-20 16:38:44

    设备名称:场发射扫描电子显微镜
    生产厂家:日本日立公司
    设备型号:S-4800
    引入时间:2016-10-10
    存放地点:实验室
    设备数量:1
    设备描述:设备简介: H-800型透射电子显微镜具有较高的分辨本领,能提供材料细微的组织结构信息;运用选区电子衍射,可同时获得与微观形貌相对应的晶体学特征。主要应用于金属及非金属等材料的微观组织与结构分析。还有SEM、STEM观察。技术参数:0nm(15kV)二次电子分辨率 2.0nm(1kV)1.4nm(1kV,减速模式)电子枪 冷场发射电子源加速电压 0.5~30kV(0.1kV/步,可变)放大倍率 ´20~´800,000物镜光阑 4孔,(内置加热器)检测器 二次电子检测器(高位/低位),法拉第杯样品台 X:0~110mm Y:0~110mm Z:1.5~40mm T:-5~+70 ºR:360º 驱动:5轴马达驱动图像储存 640´480,1280´960,2560´1920,5120´3840图像编辑 内置图像处理软件和图像编辑软件图像文件格式 BMP,TIFF,JPEG扫描速度 TV/慢速(0.5~40s/帧)用于观察慢速(40~320s/帧)用于记录自动数据记录 加速电压,微米标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离电子图像移动 ±12µm(W.D. = 8mm)真空系统 自动调节 离子泵3台涡轮分子泵(磁悬浮)1台 机械泵1台随机附件:能谱仪(EDS或EMAX)生产厂家:日本掘场(HORIBA)公司 附件型号:7593-H 分辨率:133eV 分辨元素:B-U 分辨精度:1% 功能:成份点分析、线扫描、面扫描、定量面扫描